合肥欣奕华智能机器股份有限公司成立于2013年,是中国先进的泛半导体高端装备提供商,主营泛半导体真空镀膜设备、洁净移载设备、高速高精密设备等产品的研发、生产、销售及技术服务。公司以国家重大战略需求为导向做产业,为行业解决技术难题助力行业发展,业务覆盖显示、集成电路、光伏行业等泛半导体领域全球产业链多家一级客户。凭借先进的技术,以及不断创新的能力,合肥欣奕华已成为泛半导体领域制造重要的赋能者。
合肥欣奕华在合肥新站区建设了8万平方米的研发和生产制造基地。合肥欣奕华作为国家高新技术企业,主持和参与多项国家重点研发计划和国家电子信息产业振兴和技术改造专项,牵头编制相关行业标准,受邀参加了国家“十三五”科技创新成就展。先后通过了安徽省企业技术中心、安徽省新型显示用机器人工程研究中心、安徽省博士后科研工作站等创新平台认定,荣获中国产学研合作创新成果奖一等奖、安徽省科学技术奖一等奖、中国新型显示产业链发展卓越贡献奖、中国新型显示产业链发展特殊贡献奖、中国新型显示产业链发展创新突破奖、安徽省职工技术创新成果一等奖、安徽省质量奖、安徽省名牌产品等多项荣誉。
合肥欣奕华作为一家深耕泛半导体高端装备领域的企业,通过持续研发和技术创新,攻克了一系列产业前沿技术的关键技术难题,形成了真空镀膜、洁净移载和高速高精密三大产品和技术平台。公司依托三大技术路线,聚焦于显示、集成电路、光伏泛半导体领域,成功开发出多款高端装备,确保公司在多元化业务拓展中保持竞争优势。
真空镀膜技术方面,公司从2015年开始布局OLED显示面板的真空镀膜技术研发,旨在攻克OLED面板的真空镀膜产业化难题。显示蒸镀设备属于OLED显示面板最核心的关键工艺装备,之前主要被国外厂商垄断,合肥欣奕华目前已完成从G1到高世代显示蒸镀设备系列产品国产化开发,小世代整机、蒸发源和高精密对位系统等高世代蒸镀设备关键核心装置已成功交付客户量产应用。公司通过创新设计加热机构和冷却单元、开发相关调控装置和控制程序,保证了蒸发温度场的均匀性控制精度,蒸发粒子在材料平衡蒸气压下进行,从而实现了蒸镀膜厚均匀性≤3%的国际先进水平。
通过多年的技术积累,合肥欣奕华2020年将OLED真空镀膜技术创新应用到光伏钙钛矿电池片核心工艺制程,并与龙头客户快速完成开发和量产应用,通过技术应用拓展,降低研发成本,加速产品量产应用和迭代。在钙钛矿光伏领域,公司已开发出包括小试到GW级量产系列化钙钛矿蒸镀设备产品,为钙钛矿电池的大规模生产提供了关键设备支持,目前全球已投资建设的4条GW级量产线均使用了公司研制的设备。
洁净移载技术方面,公司主要针对显示面板、集成电路等领域的刻蚀、镀膜、涂胶显影等核心工艺制程提供高洁净度、高精度的物料搬运和传输技术,确保核心工艺制程高效率和高良率量产。在集成电路领域,公司研发的半导体自动物料搬运系统(AMHS)主要应用于光刻、刻蚀、镀膜等系列核心工艺制程的晶圆搬运和存储,实现各核心工艺制程间物料的智能高速搬运,确保生产高效稳定。公司是国内少数打破国外垄断的企业之一,已在国内多家8寸和12寸半导体客户晶圆厂实现稳定量产应用。
在半导体显示领域,合肥欣奕华解决了G6-G10.5系列产品线超大超薄易碎玻璃基板的洁净搬送技术难题,研发的洁净搬运机器人主要应用于半导体显示刻蚀、镀膜、涂胶显影等核心工艺制程的基板智能搬运和传输,确保高洁净环境下的生产效率和产品良率。
高速高精密技术方面,公司主要针对新型显示和集成电路先进封装进行技术攻关和开发,实现相关领域关键核心设备的产业化应用。在集成电路先进封装方面,公司主要解决先进封装高速高精度贴片核心工艺制程技术,满足先进封装领域对贴片速度和精度的严格要求,公司通过创新性技术开发,实现直接式高速倒装贴片技术,相比于国外垄断的传统贴片技术,贴片速度超5倍以上,极大提升了客户的生产效率,降低了生产成本。在半导体新型显示方面,公司攻克了微米级LED芯片高速高精度巨量转移技术开发,开发出全球首台大尺寸Mini LED巨量转移设备,实现批量量产;同时完成了Micro LED激光巨量转移设备开发,已经交付客户量产应用。
合肥欣奕华通过多年的技术和经验积累,依托真空镀膜、洁净移载、高速高精密三大产品线,形成了5+6技术开发和设计中心平台,提高了共性技术开发和设计复用率,成为推动中国高端装备制造自主化进程的重要力量。

合肥欣奕华智能机器股份有限公司依托深厚的自主研发积淀,成功构筑起以自主知识产权为核心的技术护城河。公司是工信部《工业机器人行业规范条件》企业,获得安徽省新型显示用机器人工程研究中心、安徽省企业技术中心、安徽省工业设计中心、安微省博士后科研工作站等创新平台认定。公司组建了高学历层次研发人才和海外专家的国际化研发团队,搭建了完善的研发体系,拥有雄厚的自主研发能力。
合肥欣奕华智能机器股份有限公司建有五大技术中心和六大设计中心,五大技术中心涵盖机械动力、机电系统、运动控制、天车算法、光学研究领域,为产品创新提供底层技术支撑;六大设计中心覆盖机械设计、电气设计、软件设计、AI创新、视觉定位、机器人集成应用设计方向,保障产品从研发到落地的全流程高效推进。公司主持和参与国家重点研发计划项目4项,承担国家电子信息产业振兴和技术改造专项2项,主持安徽省科技重大专项1项,牵头编制工业机器人行业标准1项,8款产品获得安徽省首台套重大技术装备认定。

新型显示高端装备安徽省重点实验室
新型显示高端装备安徽省重点实验室是安徽省2023年获批组建的企业类重点实验室之一,主要围绕我国新型显示产业高端装备存在的问题和技术发展需求为导向,以研究新型显示高端装备工艺原理及作业机制、控制理论与方法、精度保证技术、产品与制造等为宗旨,以解决装备应用基础与关键共性技术问题为中心,以培养科研人才、提升自主创新能力、开发先进装备产品为目标,建设成为理论、技术研究与科研任务攻关、成果转化功能为一体的新型显示高端装备创新平台,助力保障国家新型显示产业安全。

致力于成为智能机器领域世界先进企业


简单和谐的人际关系、忠诚感恩的为人准则
竞争进取的人生态度,齐心协力的团队精神

客户导向、尊重人才、奋斗为本
追求卓越、正道经营、合作共赢

我们尊重员工,依法保护员工的合法权益,我们不雇佣任何形式的强制或非自愿劳工,不雇佣童工,不因宗教、种族、性别、政见、地域、肤色等因素歧视员工,所有工作为员工自愿。在招聘及日常管理中本着平等自愿的原则,设有合理化建议通道,了解员工心声,另外公司还设立了工会为员工提供投诉申诉渠道。公司人才观是平时看得见,关键时刻站得出来,危急时刻豁得出去。
合肥欣奕华致力于建立完善的薪酬福利体系,为员工提供商业保险、子女教育、体检、班车、宿舍等多方面非现金性福利,对有重大疾病的贫困员工进行扶助。同时定期组织举办员工生日会、关爱讲座等活动,关怀员工生活或工作中的困扰,舒缓压力。
合肥欣奕华注重人才的培养,为员工提供充分平等的学习、培训机会。将员工自身发展与企业发展相结合,为员工提供多通道发展平台,支持员工根据自身能力与兴趣,自由选择发展通道,帮助员工成长和实现自我价值。

合肥欣奕华拥有深入完善的安全战略与措施保障公司的网络安全和隐私保护,有完善的信息安全应急响应体系、数据安全保护体系。公司坚持投入,开放透明,全面提升软件工程能力与实践,构筑网络韧性,打造可信的高质量产品,保障网络稳定运行和业务连续性。
在生产安全方面,公司形成了一整套完善的安全管理体系,包括工厂生产安全管理条例,企业安全文化建设,安全应急组织体系和工作流程,安全培训内容,并定期举行员工测试摸查安全内容掌握情况,确保生产安全。

致力于减少生产、运营等过程以及产品和服务全生命周期对环境的影响,通过创新的产品和解决方案促进各行业的节能减排和循环经济发展,持续牵引产业链各方共建低碳社会,实现碳中和。
合肥欣奕华坚持诚信合规经营,持续加强可持续发展风险管理,关注员工发展和价值实现,对全球供应链开展可持续发展尽责管理,积极为运营所在社区做出贡献,与产业链各方携手共建和谐健康的商业生态。

企业的成长与壮大离不开社会的支持,在稳健发展的同时,合肥欣奕华时刻不忘回报社会,传递向善力量,关注并积极投入慈善等社会公益活动,践行企业社会责任,不断进行驰援暴雨河南、慰问消防救援官兵、社区开展敬老爱老活动、对有重大疾病的贫困学生进行扶助、合肥贫困山区扶贫、以技术力量支援抗疫前线等社会公益活动,鼓励并带领员工,以更积极的热情为社会公益事业增添力量,致力为社会的可持续发展作出贡献。