近日,合肥欣奕华智能机器股份公司的“显示面板制造缺陷自动检测及分类系统(ADC)”成功入选合肥市工业互联网创新应用示范项目。该评选由合肥市经信局组织开展,重点遴选在工业互联网领域具有创新示范带动效应的项目。
显示面板制造缺陷自动检测及分类系统(ADC)主要应用于工艺环节的视觉检测。在显示面板生产过程中,由于制程工序多而复杂,产生不良类型种类繁多,人工判定存在效率低、漏检、误判等问题,以及异常无法及时反馈、产品无法及时得到修复的情况。传统人工缺陷检测的方式已经无法满足检测需求,利用AI算法替代人工进行缺陷检测已成必然。
合肥欣奕华通过自主研发显示面板制造缺陷自动检测及分类系统(ADC)解决方案,可以将在面板生产过程中产生的不良问题,例如不良种类、不良大小、位置等,进行综合计算和缺陷的自动分类。将不同站点AOI图像采用独立虚拟站点进行分类,各虚拟站点可定制化规则及分类模型,干扰code少,准确率更高;采用GPU计算,具有高达140FPS的对象识别速度;融合最新数据增强技术,增强数据多样性,改善数据质量,进而提高特征提取精度;具有四种不同深度的网络结构,可根据硬件配置及时间需求选择,实现模型配置自适应,最终将判图结果推送至相关站点。不仅如此,ADC提供OP判图模块,让人工检测与自动判图相结合,进一步完善整个检测机制。同时,也为后续的返工(Rework)、返修(Repair)等工艺操作提供指导,低整个系统的不良率,及时减少返工和返修的工作量,显著提升缺陷准确率和检测效率。该套解决方案系统可实现替代人工检测率大于80%,图片检出率为99%,识别准确度大于95%。
合肥欣奕华ADC解决方案具有可靠性、稳定性等优点。系统只根据需求调整可应用于半导体、铝板带、铝箔、不锈钢制造、电子元器件、无纺布、织物、玻璃、纸张、薄膜等领域,该系统应用前景广阔,平台搭建便捷,可推广性强,是工业企业提高产品质量,减人增效的最优选择。
ADC不但能在显示面板行业广泛应用,在新型半导体制造工艺中也将大有作为:在半导体制造中需要使用检验工艺来检测晶圆(wafer)上的缺陷进而提高晶圆的合格率。人工检验工艺,需要检测人员在借助于检验工具的同时进行晶圆外观的判定,并手动地作以缺陷标识。人工检验用于机器检验后的抽检程序,能够进一步提高晶圆的合格率,然而人工检验过程中,不可避免地会发生一些人为原因导致的缺陷定位的错误,例如检测人员对缺陷坐标的辨认错误或者手动标记时将缺陷位置标错等,均易导致缺陷检测和定位的误差。自动缺陷检测及分类解决方案可以80%替代人工检验工作,并提高半导体器件的缺陷检测准确率、降低缺陷定位错误发生率。
在未来的智慧城市方面也将大有作为:在智慧城市交通管理方面,ADC可实现对城市的有效管理,自动检测道路饱和度,协助解决交通拥堵,当路段车辆超过饱和度时,可通过延长该路段入口处的红灯时间或通过LED诱导屏及时向驾驶员发布路况信息,分流车辆;同时,可对进入城市的机动车辆进行行驶轨道全程自动记录,待接到报警,系统可对违法车辆自动拍照、录像取证。在智慧消防方面,可通过图片监控,随时查看自家的情况,及时发现消防异常并预警,做到防患于未“燃”。
目前,合肥欣奕华此ADC系统在显示面板行业工艺过程的缺陷检测中已有着丰富的应用案例。