9月20日-24日,2023世界制造业大会在合肥召开。本届大会以“智造世界·创造美好”为主题开展交流探讨,共话制造大计、共商合作发展、共创美好未来。合肥欣奕华智能机器股份有限公司作为安徽省本土泛半导体高端装备企业,本次主要携半导体AMHS、显示方面的MLED巨量转移设备及钙钛矿蒸镀机精彩亮相。
合肥欣奕华在本次制造业大会开幕式发布了公司最新量产交付的半导体AMHS产品。作为国内可以为半导体客户Fab提供半导体OHT、Stocker、NTB等AMHS整体解决方案的厂商,合肥欣奕华自主研发的OHT走行速度最高可达320m/min,振动≤0.5G,拥有自主开发的路径探索算法,支持控制系统不停机更新,搬送效率达国际先进水平,能有效助力半导体生产线稼动率和良率提升。
时隔一年,合肥欣奕华自主研发的MLED大尺寸巨量转移设备再次登上世界制造业的舞台。巨量转移技术主要是将微米级的LED晶粒快速且精准地转移到驱动电路基板上,并与驱动电路之间形成良好的电气连接和机械固定。属于MLED显示产品制程中最核心的工艺设备,巨量转移的效率、良率直接关系到MLED显示产品的成本和良率。合肥欣奕华MLED巨量转移设备实现了系列化产品开发和技术的持续迭代,合肥欣奕华还就巨量转移的使用环境、具体工艺过程和工艺参数对综合效率的影响进行研究,不断优化设备的环境适应性、转移工艺过程和关键工艺参数,设备可对应MLED背光、直显产品,兼容玻璃、PCB以及柔性基材等多种基板,产品和技术能力达到了全球先进水平。
此外,在世界制造业大会的光伏分会场,合肥欣奕华李经理受邀发布《蒸镀设备的研发与应用推进钙钛矿产业化进程》的主题演讲,介绍蒸镀设备在钙钛矿领域应用的最新动态,以及对如何实现大面积、高品质、均一性好的薄膜,确保材料无变性,实现材料稳定蒸镀等内容发表观点。他表示像甲醚类的材料,因为挥发性强,速率不好监控,对腔体有腐蚀性,合肥欣奕华做了腔室的优化,腔壁和泵的优化,来保障材料的稳定蒸镀。合肥欣奕华目前在钙钛矿蒸镀领域的核心优势包括高精度和高稳定性大尺寸蒸发源及高精密控制技术、可针对不同规格基板尺寸进行蒸发源均匀性客制化模拟,目前已经实现钙钛矿小尺寸工艺验证机型和大尺寸量产机型系列化产品开发和量产交付,获得了多家头部光伏企业设备订单。
作为国内泛半导体高端装备研发企业之一,未来,合肥欣奕华将持续加大对高端装备的研发与投入,解决更多国家“卡脖子”问题,为中国半导体、显示、光伏等行业快速发展贡献力量。