2026年10月12日，苏州狮山国际会议中心，在“2026太湖光谷大会暨中国（苏州）光子产业发展大会上，合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣智”）合肥区域总经理曹景博发表了题为《国产显示蒸镀机的发展动态与展望——合肥欣奕华蒸镀装备国产化实践》的主题演讲，向与会嘉宾分享了国产显示蒸镀机实现核心装备自主可控方面的最新进展与行业洞察。

         蒸镀装备作为OLED制造中的关键环节，长期面临较高的技术壁垒和市场集中度。曹景博在演讲中指出，日韩企业在核心专利、供应链和高端零部件方面形成了较为明显的先发优势，全球高端蒸镀设备市场长期由少数企业主导。国内面板企业在设备采购、维保和备件方面存在一定程度的对外依赖。面对核心部件国产化率偏低、验证体系不完善等行业共性问题，合肥欣智正在进行产业链上下游协同推进。同时合肥欣智持续坚持蒸镀设备的自主研发。从2015年布局开发，到2017年G1设备实现量产；从2019年G2.5 OLED蒸镀设备进入量产阶段，到2021年硅基（Micro OLED）蒸镀设备完成量产交付；2026年，G4.5 OLED蒸镀机量产交付，形成产品矩阵，可满足从OLED材料评估到AR/VR近眼显示等不同场景的设备需求。

         曹景博在演讲中介绍，合肥欣智围绕蒸发源、对位系统、真空腔室和工艺控制系统四大核心环节展开技术攻关。其蒸发源平台覆盖G1至G8.6，在特定测试条件下膜厚均匀性为≤±1.5%，连续运行时间超过250小时；精准自对位技术在G4.5/G2.5设备上对位精度为≤±1μm。公司还开发了“逆物流控制技术”，突破传统蒸镀设备需多腔室配置才能实现叠层蒸镀的技术局限，推动蒸镀设备技术路线革新。该技术可为客户提高产线运营效率。国产真空装备的发展需要产业链各方共同参与，公司正推动真空计、真空泵、QCM等核心部件的国产导入，为材料企业提供验证平台，并深化与高校、科研院所的联合研发合作。

         展望未来，随着8.6代高世代线、Tandem结构、无FMM光刻以及硅基Micro OLED等新技术的演进，蒸镀设备正朝着更大尺寸和更高精度的方向持续发展。合肥欣智将继续坚持自主研发，与产业链上下游携手推进国产真空装备产业生态建设。