产品特点

– 标准化设计

– 可对应GLASS，FILM全工厂段

– 信息数据管理

– 高洁净度设计

– 维护便捷

– 可提供灵活的定制化设计，安装调试可快速对应

核心技术

– 气流计算技术

– 高洁净度净化设计技术

– 机械刚度计算技术

– 设备故障自诊断

– 设备远程控制

– 信息数据管理技术