小尺寸巨量转移设备
应用场景:Mini/Micro LED 行业核心工艺制程的微米级LED芯片高速巨量转移

产品特点



– 小尺寸基材高速高精度固晶

– 可对应多种小尺寸基材

– Mini LED内部特征识别定位

– Wafer自动上下料

– 标准化软件接口

核心技术



– 高刚度结构设计及高频冲击下的振动抑制技术

– 为满足高精度运动控制的多源误差识别和补偿技术

– 适应高速高精度固晶运动的亚毫秒级多轴协同运动控制

– 高精度的视觉识别技术,适用于识别各种Mini/Micro LED的微米级特征



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