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晶圆自动分拣机Sorter
应用场景：高速、洁净地对晶圆进行传送、分批、合批、对齐、读刻号、翻转等，与厂内天车系统进行对接
产品特点
– 高洁净度、可靠性、高重复定位精度
– 提供客户定制系统
– 2~16 Port 装载端口
– 占地面积小
– 低Wafer ID 读取失败率
核心技术
– 高洁净度、可靠性、 重复精度
– 控制 Wafer 及遏制设备震动
– OCR 控制及读取 Wafer ID
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