产品特点

- 兼容玻璃和wafer蒸镀

- Inline Type

- 标准化

- 模块化

- 成膜均匀性高

- 膜厚稳定性高

- 速率稳定性高

核心技术

- 蒸镀模拟技术

- 定制化产品，可配置线源、点源或电子束

- 具备Auto PID，蒸镀稳定，成膜均匀

- log分析技术

- 产品成熟，运营稳定