产品特点

– 可蒸镀基板尺寸370mm*470mm

– Cluster Type

– 标准化

– 模块化

– 成膜均匀性高

– 使用光学对位，对位精度高

– 运营稳定

核心技术

– 有机材料利用率高

– 可满足客户定制需求

– 具备Auto PID，蒸镀稳定，成膜均匀

– 高信赖性，可实现长时间稳定稼动生产