产品特点

– 适用对象：TFT-LCD、LTPS、OLED

– 可检测缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short

– 即时在线检测

– 模块化设计，标准化CIM通讯软件

– 多轴高精度运动控制技术

– 完全非接触式检测技术

核心技术

– 完全非接触式检测技术

– 高精度运动控制技术