产品特点

- 高真空环境

- 兼容多种运行路径

- 高洁净度

- 高速、平稳、高精度

- 安全无损搬送

核心技术

- 真空腔体设计技术

- 真空密封设计技术

- 真空系统设计技术

- 真空机械手控制技术

- 基板智能调度技术

- 基板纠偏设计技术