产品特点

– 模块化设计

– 标准化接口

– 轻量化设计

– 高洁净度密封设计

– 高速、高精度、洁净搬运

– 多枚基板同时处理，节省Tact Time

核心技术

– 大型基板搬运振动抑制

– 高洁净度密封、净化设计

– 基于位置反馈的变加速控制

– 故障诊断与预测

– 高精度精密加工、组装工艺与检测