产品特点

– 功能可选模块化设计

– 紧凑型封口

– 高洁净度、高可靠性、高精度

– 提供系统定制

– 传输振动抑制控制

– 视觉检测运动控制

核心技术

– 通信接口适配技术

– Dual-Arm控制技术

– 晶圆Mapping技术

– 晶圆360°旋转控制

– 晶圆表面光源检测

– 简易化运维管理平台