2022年第二批安徽省首台（套）重大技术装备名单日前发布，合肥欣奕华有1项技术装备跻身其中。此次入选的产品是彩膜磁控溅射机垂直上下料装载设备，主要应用于TFT-LCD等显示面板生产线彩膜磁控溅射镀膜（Sputter）工艺设备的上下料自动化搬运，为企业首台（套）产品矩阵再添新成员。

彩膜磁控溅射镀膜及配套设备主要依赖进口，因为其采用的垂直物料传送、大尺寸面板、高洁净度等特点，物料搬送技术难度较高，国内之前没有设备公司进入该领域。在此背景下，合肥欣奕华研发制造了上述产品。

合肥欣奕华攻克了磁悬浮非接触式传送导向技术、大尺寸玻璃基板垂直取放技术、系统实时仿真技术等关键技术，实现了10.5代液晶玻璃基板以垂直位姿进行溅射镀膜上下料功能。通过高低温兼容式玻璃固定夹爪设计、具备自由贴合玻璃曲面的柔性吸盘和非接触吸盘组合设计，保证了10.5代液晶玻璃基板垂直上下料过程中安全可靠、作业精度稳定。通过对Sputter设备工艺接口条件适配性解析，进行针对性程序开发，使系统具有玻璃及承载治具位姿在线量测和主动纠偏功能。彩膜磁控溅射机垂直上下料装载设备技术达到国内领先、国际先进水平，填补了国内行业空白。该设备的研发成功进一步促进我国新型平板显示产业关键配套设备的自主化进程，提高产业链的上下游配套能力，将大大提升产业的技术水平，促进产业升级，增强产业的整体竞争力，有利于提高我国平板显示产业的国际地位和竞争能力。

目前合肥欣奕华已有省级首台（套）产品5项。首台（套）重大技术装备是指经过原始创新、集成创新或引进技术消化吸收再创新，在国内率先实现原理、结构、性能等方面的重大创新，具有显著节能、节材和环保等特征，并拥有自主知识产权和自主品牌的成套或单机装备产品。核心技术自主研发，是制造业发展的关键所在，而首台（套）重大技术装备是核心技术的重要领域。研发、应用“首台（套）”既是实现装备高端化、智能化的有力手段，也是解决关键技术“卡脖子”问题、关键领域实现自主可控的重要途径。

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