近日，合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称欣奕华智）自主研发的超高洁净12Inch Mask Stocker正式交付国际头部半导体客户，实现量产出货。其洁净度可达到class2等级，振动抑制≤0.35G，性能指标达到国际先进水平，标志着国产AMHS设备在超高洁净技术与应用方面实现重要跨越。

         在晶圆加工制造流程中，Stocker与天车OHT协同运行，是实现半导体工厂全自动化（Fully Auto）的核心环节。它不仅有效缓解物流瓶颈、缩短传输周期，还能精准管理复杂批次操作，提升产线效率与产品良率。此次交付的Mask Stocker 专用于光罩（Mask）的自动化存储与搬运，具备高洁净度、动态纠偏、碰撞保护等关键功能。该设备在客户现场测试中表现卓越，传输效率、运行稳定性与环境控制能力均达到国际先进水平，获得客户高度认可。

         作为实现8/12寸前道制程、晶圆级封装、硅片制造全流程AMHS解决方案的供应商，欣奕华智已构建完整的产品矩阵，公司还提供各类Stocker系统：如Mask Stocker、FOUP Stocker、FOSB Stocker、SMIF POD Stocker、Reticle POD Stocker、Magazine Stocker、Open CST Stocker、Tray Stocker、BOX Stocker以及跨楼层Tower Stocker等，全面满足前后道不同洁净等级及特殊环境（如氮气环境）的应用需求。

         欣奕华智超高洁净Mask Stocker的量产出货，不仅是企业技术实力的体现，更是中国半导体高端装备自主化进程中的重要里程碑。未来，欣奕华智将持续以创新驱动发展，深化与全球客户的合作，助力半导体产业智能化升级与供应链多元化发展。