合肥欣奕华第四代半导体AMHS亮相SEMICON China
发布日期:2024-03-22浏览次数:574

         3月20日,SEMICON China2024在上海新国际博览中心盛大开幕。今年SEMICON China在展商数量、展会总面积等方面都创下新纪录,展会展览面积达90000平方米,有1100多家展商,展位超过4500个,同期会议和活动超过20场。



         根据SEMI最新预测数据显示,全球半导体销售额2024年有望增长10%以上,并在2030年突破1万亿美元。半导体AMHS投入约占整个晶圆厂设备支出2~3%,已形成百亿级人民币规模的产业风口。AMHS作为晶圆厂制造不可或缺的高信赖性设备系统,该设备主要被国外企业所长期垄断。合肥欣奕华智能机器股份有限公司自2021年开始布局半导体AMHS系统开发,目前已完成第四代产品迭代开发,并多次亮相SEMICON China,全方位展示了合肥欣奕华半导体AMHS整体解决方案的能力。



         合肥欣奕华深耕泛半导体领域10余年,主营泛半导体工艺、检测及移载设备,以及工业软件和大数据解决方案。合肥欣奕华第四代OHT较第三代产品本体尺寸缩小14厘米,直线走行速度可高达320m/min,振动控制≤0.35G,全直轨可取放实现紧凑Layout设计,最优路径规划实时动态更新,AMHS设备运行轨迹与动作可视化,运行参数监控可提前预测故障,各项技术规格水平达到全球先进水平。合肥欣奕华首套12寸半导体AMHS整体解决方案已于2023年实现量产交付客户应用,并陆续获得了国内8寸Fab客户前道制程整厂AMHS订单和12寸Fab客户前道制程OHT订单。