合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）的硅基OLED蒸镀机，凭借先进的技术水平，荣获SID（国际信息显示学会）中国区显示行业大奖——最佳显示组件产品奖，该奖项是显示行业最具影响力的大奖之一。

         硅基OLED是VR/AR及元宇宙等新兴产业重要的硬件基础。而硅基OLED蒸镀机是硅基OLED显示器件制备环节的核心设备，蒸镀机将有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上，是推动相关技术实现产业化的最关键因素，也是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。

         合肥欣奕华自主研制了成套系统设备，在蒸发速率稳定性、对位精度、蒸镀膜厚均一性和重复性等关键技术指标，达到了国际先进水平，进一步提升产业的技术水平，促进产业升级，有利于提高我国新型显示产业的国际地位和竞争能力，同时，大大降低了产业链企业的设备采购成本。

          2024ICDT国际显示技术大会，于3月31日-4月3日在合肥滨湖国际会展中心举行，合肥欣奕华携硅基蒸镀机亮相此次ICDT显示展。

          Micro OLED结合了CMOS技术和OLED技术，反应速度更快、显示分辨率更高，能更好地满足XR近眼显示系统的高要求，作为小尺寸、高分辨率的VR和AR设备的显示器而受到关注。中国硅基OLED产业链的国产化时机已至，而其中蒸镀机是最核心的工艺设备。作为国内率先布局OLED蒸镀设备研发企业，受益于行业成长和国产替代的双重驱动，合肥欣奕华攻克了硅基OLED蒸镀机膜厚均一性、稳定性和微米级高精密定位技术难题。同时，对于某些特殊蒸镀材料，通过蒸镀趋势模拟，开发特定的蒸发源并制定蒸镀工艺实现其长期稳定蒸镀。合肥欣奕华已完成国内首台全自主研发的12寸硅基OLED蒸镀机量产交付，助力国内硅基OLED产业快速发展。 

         本次ICDT展会同期举办多场显示技术相关论坛，合肥欣奕华蒸镀事业部张部长分享了《OLED蒸镀设备国产化进展》的主题演讲，他指出国内OLED行业如火如荼发展，但设备国产化率仅30%左右，高技术壁垒设备比重仍需努力突破，尤其是OLED面板量产核心工艺设备——蒸镀机。目前，合肥欣奕华形成了完善的蒸镀机技术研发体系，已推出国内首台G1 OLED蒸镀机、G2.5 OLED蒸镀机、国内首台硅基蒸镀机、G8.6蒸发源和对位系统，可以持续为OLED“智造”工艺创新增添动力。

         同时，张部长在演讲最后强调，合肥欣奕华针对OLED蒸镀设备未来技术提前布局规划，如硅基蒸镀技术迭代升级，满足RGB Micro OLED对位精度要求；大尺寸蒸镀机及配套蒸发源等，不断输出先进制造能力，成为支撑OLED显示行业高质量发展的“重器”。