11月4日至5日，世界显示产业创新发展大会在成都举行。合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣智”）携蒸镀设备及SinevAI工业智能应用亮相大会，成为我国新型显示产业“强链、补链、延链”的直观注脚。

         蒸镀设备是OLED制造中价值量和技术门槛最高的装备，直接决定面板良率与性能上限，而高端蒸镀设备市场长期由国外少数厂商主导。合肥欣智自2015年布局OLED真空镀膜技术研发，逐步完成了从G1到G4.5Q的国产蒸镀设备产品谱系：2017年G1 OLED蒸镀设备实现量产，2019年G2.5 OLED蒸镀设备进入量产阶段，2021年硅基（Micro OLED）蒸镀设备完成量产交付，2026年G4.5Q OLED蒸镀设备量产交付。此次展出的蒸镀设备，是公司在显示制造关键工艺装备领域的代表性成果。蒸镀设备矩阵覆盖从OLED材料评估、AR/VR近眼显示到玻璃基穿戴显示量产的不同场景，使合肥欣智成为国产蒸镀装备从“点状突破”走向“谱系化供给”的代表性企业之一。

         9月，合肥欣智自主研发的G4.5Q OLED蒸镀设备正式量产交付显示领域头部客户。该设备在对位精度、成膜均一性、速率稳定性等关键指标上达到国际先进水平。其搭载的两项自研技术尤为值得关注：自动逆物流控制技术突破传统设备需多腔室配置才能实现叠层蒸镀的技术局限，在少量腔室条件下即可高效完成叠层器件生产，提升产线运营效率；点线源混蒸技术通过点源阵列与线源协同、独立闭环控制各蒸发源速率，解决叠层器件中金属膜层与有机材料共混的工艺难题，实现高比例、高均一性混合沉积。叠层（Tandem）结构是当前OLED延长寿命、降低功耗的关键技术方向，蒸镀设备能否稳定支撑叠层工艺并保证膜层精度，直接关系客户叠层器件的良率上限。上述两项技术使G4.5Q在穿戴显示这一OLED扩产最活跃的细分场景中形成了针对性的工艺能力，也标志着国产中高世代OLED蒸镀设备迈出规模化应用的关键一步。

         当前，新型显示作为智能交互的“第一触点”，正在与AI技术、物联网等新技术深度融合。装备作为产业链的核心环节，正从单机自动化向全生命周期具备感知、分析、决策和进化能力演进。合肥欣智AI BU总经理温栋梁做了《AI驱动泛半导体装备智能化跃迁》的主题报告，共探AI深度赋能装备新途径。他指出，合肥欣智已提出“SinevAI——欣奕华大脑”战略，以AI赋能装备，分阶段实现工业具身智能：第一步让设备“会说话”，实现设备健康与透明化；第二步让设备“会思考”，实现流程优化与效率提升；第三步让产线“会协作”，实现自主决策与全局最优。在蒸镀设备、AMHS产品上，合肥欣智的AI赋能路径均已实现落地应用。

         他在现场提到，在显示制造现场，设备连续运行、工艺上下游强关联，传统定期维护和单点补正难以完全覆盖早期故障与全过程波动。合肥欣智正推动AI能力从虚拟量测走向工艺参数优化和自适应调节，通过实时工艺参数与高精度预测模型，减少机台实测、缩短调试周期，提高产品良率。其中预测性维护系统（PDM）采集设备运行中的扭矩、速度、位置、振动、温度等信息，通过边缘计算与算法分析识别异常趋势，辅助现场提前排查故障、准备备件和安排维护。先进过程控制（APC）则按每片玻璃的实际加工条件匹配工艺参数，关联上下游生产条件，缩小机差与多工序累积偏差，帮助客户缩小排查范围、支持工艺调整。目前，相关能力已在显示制造场景中形成工程化应用基础。

         从单台设备到整座工厂，合肥欣智正分三层推进智能化升级。产品层构建覆盖“规划、感知、决策、运维、进化”的智能闭环；技术层打造“运动控制+AI”平台，逐步开发仿真器、验证器和控制Agent，并在实际设备上推进多轴控制应用验证；工厂层面向具身智能泛半导体工厂，以“超级大脑+专家型智能体（Agent）”为核心，结合大模型和多智能体协作，推动整厂信息透明、基层自治和全局协同。

         未来，合肥欣智将继续以SinevAI为引擎，推动蒸镀设备等核心产品从功能实现走向价值赋能，与产业链伙伴深度合作、价值共创，为泛半导体制造迈向自主智能提供智能装备支撑。