合肥欣奕华智能机器股份有限公司(以下简称“合肥欣智”)自主研发的“面向100KK级量产的Micro LED高精度高良率激光巨量转移关键技术及AI智能装备研制”项目,凭借在新型显示关键装备领域的突破性创新,成功荣获大会“创新突破项目”奖。
当前,以Micro LED为代表的新一代显示技术正成为全球竞相争夺的技术制高点,未来市场潜力巨大。作为Micro LED新型显示面板制造的核心工艺环节,巨量转移技术承担着将微米级芯片高效转移至电路板的重任。其中,基于激光剥离方式的巨量转移技术,凭借在效率、良率与成本控制方面的独特优势,被公认为突破产业化壁垒的关键路径。
合肥欣智此次获奖项目聚焦激光巨量转移设备这一核心工艺装备,从机理揭示、工艺优化、装备研制到质量控制开展了系统性攻关。项目团队成功攻克了光机电协同控制、多源综合误差解耦与补偿等核心技术,实现了综合控制精度优于1.5μm,并达成高转移良率和效率,成功研制出满足新一代显示应用条件的Micro LED高速激光巨量转移设备。
在技术突破上,该设备集成了多项行业先进的核心技术:自主设计的高均匀性光路与光机电软一体化整形系统,为芯片转移提供了可靠的光学保障;搭载高速高精度气浮运动平台及三自由度微动台,确保了高速运行下的定位与对位精度;同时,项目构建了双工位显微视觉成像系统,结合轻量化卷积神经网络,实现了对芯片微小偏转角度的亚微米级实时检测,为量产良率保驾护航。
在装备智能化方面,合肥欣智将SinevAI智能赋能体系深度融入设备。通过AI视觉检测与智能校正算法,设备具备了晶圆姿态检测及光斑位置自校正等功能,实现了从自动化执行向智能感知与自适应控制的升级,为Micro LED规模化量产提供了坚实的智能装备支撑。
作为泛半导体高端装备平台化企业,合肥欣智始终致力于推动高端装备的国产化与智能化。此次荣获新型显示供应链创新突破项目奖,是行业对合肥欣智在Micro LED关键装备领域技术实力与产业化贡献的高度认可。未来,合肥欣智将继续围绕新型显示产业需求,推动激光巨量转移等核心装备向更高精度、更高效率和更高智能等级演进,助力中国新型显示产业高质量发展。